書誌所蔵情報 | 宮城県図書館

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2025/05/11

資料の種別｡	図書｡資料情報のコピー
タイトル｡	よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み｡　外部サイトで調べる:
副書名｡	ファブから検査まで製造装置を俯瞰する｡
副書名｡	製造技術の神髄｡
著者名等｡	佐藤/淳一‖著｡
版次｡	第3版｡
出版者｡	秀和システム／東京｡
出版年｡	2019.12｡
ページと大きさ｡	261p／21cm｡
シリーズ名｡	図解入門｡
シリーズ名｡	Visual Guide Book｡
件名｡	半導体｡
分類｡	NDC8 版：549.8｡
	NDC9 版：549.8｡
	NDC10版：549.8｡
ISBN｡	978-4-7980-6037-8｡
価格｡	¥2000｡
タイトルコード｡	1101180577｡
内容紹介｡	洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。｡
著者紹介｡	京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。｡
ヨミの情報｡	タイトル：ヨク/ワカル/サイシン/ハンドウタイ/セイゾウ/ソウチ/ノ/キホン/ト/シクミ｡
	著者名：サトウ,ジュンイチ｡
	件名：ハンドウタイ｡

貸出可能な資料｡	貸出中の資料｡	館内でのみ利用可能な資料｡	予約数｡
貸出可能な資料｡ 0 冊	貸出中の資料 1 冊	館内でのみ利用可能な資料 0 冊	予約数 0 件

番号｡	資料番号｡	所蔵館｡	配架場所（配架案内）｡	請求記号｡	状態｡
1｡	資料番号： 1011755996｡	所蔵館：宮城県図書館｡	配架場所：一般開架図書（３階）（３階一般開架資料です）｡	請求記号： 549.8 19Z	状態：貸出｡

このページのURL：https://www.library.pref.miyagi.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1101180577

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