書誌情報｡

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資料の種別｡ 図書｡ 資料情報のコピー
タイトル｡ ドライプロセス表面処理大全｡ 　
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著者名等｡ 関東学院大学材料・表面工学研究所‖編｡
出版者｡ 日刊工業新聞社／東京｡
出版年｡ 2019.3｡
ページと大きさ｡ 285p／21cm｡
シリーズ名｡ 技術大全シリーズ｡
件名｡ 金属表面処理｡
薄膜｡
分類｡ NDC8 版：566.7｡
NDC9 版：566.7｡
NDC10版：566.7｡
ISBN｡ 978-4-526-07968-9｡
価格｡ ¥3000｡
タイトルコード｡ 1101117548｡
内容紹介｡ 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。｡
ヨミの情報｡ タイトル：ドライ/プロセス/ヒョウメン/ショリ/タイゼン｡
著者名：カントウ/ガクイン/ダイガク/ザイリョウ/ヒョウメン/コウガク/ケンキュウジョ｡
件名： キンゾク/ヒョウメン/ショリ ; ハクマク｡

貸出情報｡

貸出可能な資料｡ 貸出中の資料｡ 館内でのみ利用可能な資料｡ 予約数｡
貸出可能な資料｡
1 冊
貸出中の資料
0 冊
館内でのみ利用可能な資料
0 冊
予約数
0 件

所蔵情報｡

状態についての詳細は、こちらを参照してください。
番号｡ 資料番号｡ 所蔵館｡ 配架場所（配架案内）｡ 請求記号｡ 状態｡
1｡
資料番号：
1011878202｡
所蔵館：
宮城県図書館｡
配架場所：
一般開架図書（３階）（３階一般開架資料です）｡
請求記号：
566.7 
193 
 
状態：
在架｡
このページのURL：https://www.library.pref.miyagi.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1101117548
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