書誌情報｡

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資料の種別｡ 図書｡ 資料情報のコピー
タイトル｡ はじめての半導体ドライエッチング技術｡ 　
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著者名等｡ 野尻/一男‖著｡
出版者｡ 技術評論社／東京｡
出版年｡ 2012.1｡
ページと大きさ｡ 8,162p／21cm｡
シリーズ名｡ 現場の即戦力｡
件名｡ 半導体｡
分類｡ NDC8 版：549.8｡
NDC9 版：549.8｡
NDC10版：549.8｡
ISBN｡ 978-4-7741-4940-0｡
価格｡ ¥2280｡
タイトルコード｡ 1100404302｡
内容紹介｡ ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。｡
著者紹介｡ 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。｡
ヨミの情報｡ タイトル：ハジメテ/ノ/ハンドウタイ/ドライ/エッチング/ギジュツ｡
著者名：ノジリ,カズオ｡
件名： ハンドウタイ｡

貸出情報｡

貸出可能な資料｡ 貸出中の資料｡ 館内でのみ利用可能な資料｡ 予約数｡
貸出可能な資料｡
1 冊
貸出中の資料
0 冊
館内でのみ利用可能な資料
0 冊
予約数
0 件

所蔵情報｡

状態についての詳細は、こちらを参照してください。
番号｡ 資料番号｡ 所蔵館｡ 配架場所（配架案内）｡ 請求記号｡ 状態｡
1｡
資料番号：
1009981422｡
所蔵館：
宮城県図書館｡
配架場所：
書庫内資料（一般４）（書庫内の資料です ３階貸出カウンターへどうぞ）｡
請求記号：
549.8 
121 
 
状態：
在架｡
このページのURL：https://www.library.pref.miyagi.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1100404302
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