書誌所蔵情報 | 宮城県図書館

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2024/05/12

資料の種別｡	図書｡資料情報のコピー
タイトル｡	はじめての半導体リソグラフィ技術｡　外部サイトで調べる:
著者名等｡	岡崎/信次∥著｡
	鈴木/章義∥著｡
	上野/巧∥著｡
出版者｡	工業調査会／東京｡
出版年｡	2003.6｡
ページと大きさ｡	305p／21cm｡
シリーズ名｡	ビギナーズブックス 29｡
件名｡	リソグラフィー｡
件名｡	半導体｡
分類｡	NDC8 版：549.7｡
	NDC9 版：549.7｡
	NDC10版：549.7｡
ISBN｡	4-7693-1224-5｡
価格｡	¥2400｡
タイトルコード｡	1000216068｡
内容紹介｡	光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。｡
ヨミの情報｡	タイトル：ハジメテ/ノ/ハンドウタイ/リソグラフィ/ギジュツ｡
	著者名：オカザキ,シンジ｡
	件名：リソグラフィー ; ハンドウタイ｡

貸出可能な資料｡	貸出中の資料｡	館内でのみ利用可能な資料｡	予約数｡
貸出可能な資料｡ 1 冊	貸出中の資料 0 冊	館内でのみ利用可能な資料 0 冊	予約数 0 件

番号｡	資料番号｡	所蔵館｡	配架場所（配架案内）｡	請求記号｡	状態｡
1｡	資料番号： 1007671850｡	所蔵館：宮城県図書館｡	配架場所：書庫内資料（一般４）（書庫内の資料です３階貸出カウンターへどうぞ）｡	請求記号： 549.7 036	状態：在架｡

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